T.Stapiński, Amorficzne i mikrokrystaliczne stopy na bazie krzemu i ich zastosowania, Kraków 1999.

Streszczenie

Praca dotyczy własności elektrycznych, optycznych, fotoelektrycznych i strukturalnych cienkich warstw amorficznych i mikrokrystalicznych stopów krzemu z węglem oraz amorficznych stopów krzem-azot. Zainteresowanie grupą tych materiałów wynika z ich szerokich możliwości aplikacyjnych w urządzeniach optoelektronicznych i sensorach. Badane materiały były otrzymywane głównie metodą CVD ze wspomaganiem plazmowym oraz reaktywnego magnetronowego rozpylania.

Przedmiotem szczególnego zainteresowania autora są amorficzne stopy krzemu z niewielką zawartością węgla i azotu rzędu kilku % at. o dużej czułości fotoelektrycznej i przerwie energetycznej dochodzącej do 2.3 eV, jak również mikrokrystalicznych stopów krzemu z węglem domieszkowanych fosforem o własnościach piezorezystancyjnych. Przeprowadzone badania własności stopów krzemu wymagały zastosowania różnorodnych metod eksperymentalnych takich jak mikroskopia elektronowa, spektroskopia optyczna w zakresie widzialnym i podczerwieni, spektroskopia Ramana, fototermiczna spektroskopia odchyleniowa, efekt Halla, pomiar fotoprądu oraz przewodnictwa.